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大气射流微波等离子清洗机

  • 产品型号:NE-AW01
  • 性能特点:采用的固态微波源工作稳定,稳定度高、使用寿命长
  • 产品用途:静电敏感电子元器件部件的表面预处理
  • 产品介绍
  • 产品参数
大气射流微波等离子清洗机由等离子喷枪,微波源、气体输入控制装置、总系统控制等组成。大气压微波等离子体放电是利用具有超高频特性的微波,在强微波电场作用 下,气体击穿放电产生等离子体的技术。大气微波等离子清洗机无需真空系统,具有设备体积小、制造和维护成本低等优点,并且由于被处理材料尺寸不受真空腔 体体积的限制,易于实现自动化连续处理。同时,对于仅需清洗局部位置的材料,可提供精细化的处理,不会像真空等离子清洗方式全部处理到。

大气微波等离子清洗机优势特征


⚫ 采用的固态微波源工作稳定,稳定度高、使用寿命长
⚫ 可使用多种气体,等离子温度可调整,可适应多种应用
⚫ 整体功率小、处理效率更高
⚫ 体积小、重量轻
⚫ 控制方式简单


大气微波等离子清洗机主要应用场景


⚫ 静电敏感电子元器件部件的表面预处理(半导体封装)
⚫ 光学镜面镀膜预处理
⚫ 特殊材料涂覆前预处理
⚫ 粘接预处理


微波等离子体是把微波能量转化为气体分子的内能,使气体激发、电离最终形成的由运动的离子、电子及中性粒子组成的电中性集合体。与直流或射频产生的等离子体相比,微波等离子体具有较高的等离子体密度,更高的电子温度。由于微波等离子体具有以上独特优势,微波等离子体技术在光谱分析、生物医疗、环境治理、材料刻蚀等方面的应用引起人们广泛关注。
型号 NE-AW01大气微波等离子清洗机
等离子发生器频率 2.45GHZ
适用气体 Ar、N2
微波功率 20~200W(可调)
处理温度 30℃~60℃
处理宽度 5mm
输入电源 220VAC±20% 50-60Hz
外形尺寸 宽*深*高(422mm*430mm*150mm)

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