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60L真空等离子清洗机

  • 产品型号:NE-PE60
  • 性能特点:全自动操作,处理均匀性好
  • 产品用途:表面的油污清洗、氮氧化物、光刻胶去除、聚合物改性
  • 产品介绍
  • 产品参数
真空等离子清洗机是通过控制由密闭腔室连接真空泵、RF电源和进气控制的装置系统产生的等离子体,通过化学或物理作用对放置在电极(正极和负极)和非电极(悬浮极)载物托盘上的工件表面进行纳米级处理,实现分子水平的多余材料和沾污去除,改善工件表面极性性能,为下步工艺做好基础的工艺过程设备。被清除的材料和沾污可能有:有机物如玻璃表面的油污、环氧基聚合物、氧化物如氧化银等、氮氧化物、光刻胶,焊料残余、金属盐等。对应不同的基材及沾污,应采用不同的清洗工艺:工艺气体种类及流量控制如氧气、氩气、氯基气、氢气等。
 

真空等离子清洗机产品特点:


射频电源功率选择为0到600W可调,频率选择为13.56MHz,同时采用电源匹配系统来调节负载阻抗,以保证最佳的等离子密度和可重复性。
电极板主体由不锈钢材料制成,通过电极接头可选择的与电源正极或负极连通,电极板由两侧的绝缘块固定在真空腔体中,整个电极系统可跟据不同需求选择电极板的极性与间距,以获得最合适的等离子体。
供气系统采用高精度流量计来精确调节工作气体的流量,同时采用高稳定性的真空泵来实现废气的均衡排放。
高可靠性和稳定性、高效的功率输出、紧凑的结构设计、体积小、重量轻、完善的保护功能等特点。
前设开门,后方开排气孔、电源线孔,侧面开进气孔,以便于形成动态循环、均匀进气提高清洗的效果。
两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对清洗效果的影响。
真空室材料选用材料为316不锈钢作为放电腔体,耐腐蚀性能好、耐热性强、低温情况下的强度好,冲压弯曲等热加工性好,无磁性。

真空等离子清洗机清洗原理:


等离子清洗是依靠特定物质等离子体中的高能粒子流冲击需要清洁的物体表面,产生物理冲击(如氩等离子体)或化学反应(氧等离子体)来实现去除物体表面污渍的功能。

以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例,等离子体对油脂污垢的作用,类似于使油脂污垢发生燃烧反应,但不同之处是在低温情况下发生的"燃烧"。其基本原理:氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下,油脂分子最终被氧化成水和二氧化碳分子,并从物体表面被清除。
等离子清洗原理
 

真空等离子清洗机产品应用:


真空等离子清洗机的应用例子极为广泛,集成电路生产工艺需求,前期芯片制造,后期封装及混合电路等的可持续发展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面纳米级的活化改性,由非极性到带有一层纳米级的极性材料表层,以提高材料表面物理和化学的粘接印刷涂覆上漆性能,最贴近生活化的如制鞋业的工艺生产需求,连接器上logo的印刷等;LCD液晶显示屏表面有机物干扰材料的去除;金属表层氧化物的去除等。
项目 型号规格 参数
等离子体发生器 功率 0-600W可调
频率 40KHz/13.56MHz 
抗辐射干扰高频匹配器 自动抗阻匹配,远程通信控制
真空反应腔室 腔体内部尺寸 375*375*430(宽*高*深)
腔体容积 60L
材质 不锈钢/铝合金
电极层数 5层
工作托盘 标配一套,材质可选(铝丝,钢丝网)
电极板分布方式 平板电极,可灵活抽取
控制系统 系统控制 PLC
触摸屏 七寸触摸屏
气体系统 气体通道 标配两路可增加(氧气、氩气、氮气等)
气体流量控制 MFC气体质量流量计
外观参数 外形尺寸 1100*1600*1000(宽*高*深)

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