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30L真空等离子清洗机

  • 产品型号:30L真空等离子清洗机
  • 性能特点:NE-PE30
  • 产品用途:材料表面清洁、刻蚀、活化、改性
  • 产品介绍
  • 产品参数
本系统使用传统的电容耦合式等离子清洗机结构,即内平行极板。系统由三大部分组成包括真空系统、放电系统和控制系统。其中放电系统由放电腔体、平行极板、工件支座和电源及匹配网络组成,真空系统由真空泵、充气系统、密封件、阀门、压强感应器组成,真空泵抽取真空并维持反应室内气压平衡,压强感应器测量反应时的压强。反应腔体要求反应室真空密封同时具备辐射防护。充气系统由气管、流量计和阀门组成,目的是定量向反应室充入反应气体。电源使用的是固态射频电源,具有高可靠性和稳定性、高效的功率输出、体积小、重量轻、完善的保护功能可实现过温、反射功率保护。控制系统可实现电源输出功率、放电时间、气路开关的控制。

真空等离子清洗机产品特点:


高可靠性和稳定性、高效的功率输出、紧凑的结构设计、体积小、重量轻、完善的保护功能等特点。
前设开门,后方开排气孔、电源线孔,侧面开进气孔,以便于形成动态循环、均匀进气提高清洗的效果。
两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对清洗效果的影响。
真空室材料选用材料为316不锈钢作为放电腔体。耐腐蚀性能好、耐热性强、低温情况下的强度好,冲压弯曲等热加工性好,无磁性。


真空等离子清洗机清洗原理:


在清洗过程中通过射频电源电离真空腔内气体产生等离子体,等离子体具有高能量可以通过物理作用轰击材料表面使材料表面的污染物从金材料表面脱落,其次电离某种气体可以产生对应的活性粒子,活性粒子会与表面的有机物或者氧化物等发生化学反应进而生成易于挥发的物质可以被真空泵排出反应腔体达到清洗物体表面的效果。

等离子清洗的过程不使用化学试剂,不会造成二次污染;真空等离子清洗机可重复性强,所需设备和运行成本比较低,而且操作灵活简单,可以实现对金属表面的整体或某些局部及复杂结构的清洗,有些经过等离子体清洗后的表面性能还可以得到改善,等离子清洗机在微电子工业、半导体业等高科技领域的应用将会越来越广泛。



项目 型号规格 参数
等离子体发生器 功率 0-500W可调
频率 40KHz/13.56MHz 
抗辐射干扰高频匹配器 自动抗阻匹配,远程通信控制
真空反应腔室 腔体内部尺寸 300*350*300(宽*高*深)
腔体容积 30L
材质 不锈钢/铝合金
电极层数 3层
工作托盘 标配一套,材质可选(铝丝,钢丝网)
电极板分布方式 平板电极,可灵活抽取
控制系统 系统控制 PLC
触摸屏 七寸触摸屏
气体系统 气体通道 标配两路可增加(氧气、氩气、氮气等)
气体流量控制 MFC气体质量流量计
外观参数 外形尺寸 600*1500*600(宽*高*深)

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