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150L真空等离子清洗机

  • 产品型号:NE-PE150
  • 性能特点:有效处理空间大、清洗效率高
  • 产品用途:材料表面活化、清洗、刻蚀和改性
  • 产品介绍
  • 产品参数
NE-PE150L真空等离子清洗机包括反应室、射频电源及匹配系统、真空系统、工艺气路系统、压力控制系统、电气控制系统等。等离子清洗工艺是直接把高能等离子体流施加到被清洗表面以达到等离子体清洗的目的。选择不同的气体种类和配比,可以满足很多等离子体清洗的要求。例如:用氧气等离子体可以使有机物沉积被氧化掉;用惰性的氩气等离子体可以使颗粒污染被机械地冲洗掉,用氢气等离子体可以消除金属表面氧化,等等。应用等离子体清洗金属、陶瓷和塑料表面的有机物,大大增强了这些材料表面的附着力和键合力。

真空等离子清洗机产品特点:


射频电源功率选择为0到1000W可调,频率选择为13.56MHz,同时采用电源匹配系统来调节负载阻抗,以保证最佳的等离子密度和可重复性。
电极板主体由不锈钢材料制成,通过电极接头可选择的与电源正极或负极连通,电极板由两侧的绝缘块固定在真空腔体中,整个电极系统可跟据不同需求选择电极板的极性与间距,以获得最合适的等离子体。
平行平板型的电极结构,使得在所有样品表面都得到了均匀的等离子体,并且也能提供最大的样品装载能力,因此满足均匀性和生产能力的要求。
供气系统采用高精度流量计来精确调节工作气体的流量,同时采用高稳定性的真空泵来实现废气的均衡排放。
高可靠性和稳定性、高效的功率输出、紧凑的结构设计、占地面积小、重量轻、完善的保护功能等特点。
前设开门,后方开排气孔、电源线孔,侧面开进气孔,以便于形成动态循环、均匀进气提高清洗的效果。
两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对清洗效果的影响。
真空室材料选用材料为316不锈钢作为放电腔体,耐腐蚀性能好、耐热性强、低温情况下的强度好,冲压弯曲等热加工性好,无磁性。
用PLC控制,工艺过程全自动完成,具有良好的互锁和报警功能。


真空等离子清洗机应用领域:


在电子领域,可用此技术做混合电路、PCB板、SMT、BGA、导线框和平板显示器的清洗和刻蚀;
在医疗领域也要应用此种技术来改善各种导管、超细导管、过滤器、传感器等医疗设置的光滑度、沾湿性等关键指标。
在大规模集成电路和分立器件行业中,等离子体清洗一般应用于以下几个关键步骤中:
1、去胶,用氧的等离子体对硅片进行处理,去除光刻胶;
2、金属化前器件衬底的等离子体清洗;
3、混合电路粘片前的等离子体清洗;
4、键合前的等离子体清洗;
5、金属化陶瓷管封帽前的等离子体清洗

项目 型号规格 参数
等离子体发生器 功率 0-1000W可调
频率 40KHz/13.56MHz 
抗辐射干扰高频匹配器 自动抗阻匹配,远程通信控制
真空反应腔室 腔体内部尺寸 500*500*675(宽高深)
材质 不锈钢/铝合金
电极层数 7层
腔体容积 150L
工作托盘 标配一套,材质可选(铝丝,钢丝网)
电极板分布方式 平板电极,可灵活抽取
控制系统 系统控制 PLC
触摸屏 七寸触摸屏
气体系统 气体通道 标配两路可增加(氧气、氩气、氮气等)
气体流量控制 MFC气体质量流量计
外观参数 外形尺寸 1150*1750*1050(宽*高*深)

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