微波频率相对于射频有两个决定性优势，其一是离子浓度最高,在微波等离子里的反应微粒数量要远远大于在射频等离子里的反应等离子数量，这会使反应速度更快，反应时间更短。...
2022-06-02
微波等离子清洗具有激发频率高、 自偏压小、 离子动能小、 离子浓度高、 化学反应强等特点，可以有效避免静电损伤，微波等离子清洗技术在诸多领域已经得到广泛应用，在许多精密制造行业微波等离子清洗机已经成为必备设备。...
2022-06-02
微波等离子清洗机总体结构分为五个部分：设备主体、真空系统、微波放电系统、控制系统和供气系统。其清洗过程是：在真空腔内压力到达一定范围时充入工艺气体,当腔内压力为动态平衡时，利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。...
2022-06-01
微波等离子清洗机可分为三种模式，即顺流模式、旋转模式及ECR模式，微波等离子清洗具有激发频率高、 自偏压小、 离子动能小、 离子浓度高、 化学反应强等特点，可以有效避免静电损伤、 实现均匀的三维清洗。...
2022-06-01
微波等离子是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在正负极磁场作用下的谐振腔体内产生等离子体，该谐振腔体位于反应仓体旁边，磁控管连接微波发生器，因为整个放电过程不需要正负电极，所以产生自偏压极小，从根本上避免了静电放电损伤。...
2022-06-01
微波等离子清洗技术具有优越的环境特性和去污能力，但传统产生等离子体的不足限制了等离子清洗技术在工业中的应用，使用微波产生等离子可以避免清洗中产生的静电损伤，从而为扩展等离子技术在工业中的应用提供可能。...
2022-06-01
微波放电等离子体作为一种能够在一定气压范围内产生高密度、高活性、高电离度的低温等离子体技术，近年来一直是气体放电领域的研究热点。关于微波等离子体研究主要分为微波等离子体的发生及应用研究两大类。...
2022-06-01
等离子体处理虽具有清洁、高效、无污染、不影响本体性能等优点，等离子处理后PE表面含氧量提高,聚乙烯(PE)表面亲水性增强;并且聚乙烯(PE)表面产生活化效果，有利于产品的粘接。...
2022-05-31
等离子清洗获得较为干净的金层粘接表面，且提高了金层的表面能，胶粘剂在镀金层上容易润湿，使胶粘剂与金层的界面结合力提高。 ...
2022-05-31
低温等离子体用于粉体处理具有设备简单、无需溶剂，放电形式多、适用范围广、连续性强等优点，因此在处理气态、液态和固态物质等方面都有研究和应用。 ...
2022-05-30
用等离子体处理ITO薄膜，其静态H2O接触角明显下降，润湿性显著提高；ITO薄膜的透过率发生变化，导电性没有发生明显变化。氧气等离子体处理不但可以清洁薄膜表面，还能补充一定的氧原子，等离子处理对薄膜的改性一般仅存于表面，对其深层组成没有改变，故对ITO薄膜的方块电阻和载流子没有明显的变化。...
2022-05-30
等离子对材料改性的效果并不稳定，随着时间的推移部分效果会失去，总的来说低温真空环境相比于其他环境更利于等离子清洗机改性处理后表面含氧亲水官能团的保持，从而有利于表面亲水时效性的保持。 ...
2022-05-30
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