在线式双轨道真空等离子清洗设备

产品型号：NE-OPC20
性能特点：在线清洗，双轨道传输，效率高
产品用途：IGBT金线焊接产品

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产品介绍
产品参数

在线式双轨道真空等离子清洗设备，包括机箱，机箱的内部设有双轨道物料输送机构、真空等离子清洗机构以及高速双轨道双夹爪传输系统，产品载具放置在双轨道上料输送机构中的两个输送轨道上进行传输，通过夹爪夹取2组产品载具放入置物架上，升降气缸驱动真空上箱下降以实现与真空底座箱密封对接形成一个真空内腔,真空泵与真空管抽吸真空内腔直至真空度达到预设值,接着通过工艺气体、进气排气平衡,等离子电源工作产生辉光直至等离子清洗处理完成，之后升降气缸驱动真空上箱上升，高速夹爪将两组产品从置物架上夹出至双轨道下料输送机构等待下料。

设备具备自动产品扫码功能，MES数据上传，可以与上下产线实现联机操作，自动化程度高，能够实现自动上料、下料，避免出现二次污染，清洗良率高，并且能同时对两组产品进行清洗，更进一步地提高清洗效率，实用性强。

设备主要应用于IGBT封装行业，对IGBT模块的DBC基板和功率端子等进行清洗,以去除基板表面的有机物,氧化物,微颗粒污染物等杂质。等离子清洗，通过将气体激励电场离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能，从而提高封装的可靠性。

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