真空等离子清洗机清洗工作流程及其示意图
文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-08-25
真空等离子清洗机其清洗机理是，在真空环境下，氧、氢或氩等工艺气体，在高压交变电场（由机器本身的射频电源产生）的作用下生成活性很高或能量很高的离子，在接触到被清洗的基材表面的有机杂质或者细小的颗粒，就会发生碰撞或产生化学与物理上的反应，从而生成能够挥发的物质，经由机器中的真空泵以及工作气流排出，从而将基材表面清洗干净，它能够完成部分或整体或复杂结构的清洁，尤其适用于半导体、氧化物、金属和大部分的高分子材质的物体，优异于其它方式清洗的就是清洗完成后不会产生废液。
(1) 打开舱门将被清洗的材料放到托盘上送入真空腔室并加以固定，设定好，气体流量，清洗时间，功率等主要参数，启动运行装置，开始抽真空，使真空室内的真空程度达到30Pa左右的标准真空度。一般抽真空时间大约需要几分钟。
(2) 真空腔体内开始通入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在30Pa。
(3) 在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空腔体产生的等离子体完全笼罩住被处理材料上，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟不等。
(4) 清洗完毕后点击清洗完毕确认按钮，同时向真空室内鼓入空气开始破真空，并使气压升至一个大气压。待腔体内部气压恢复到大气压后打开舱门取出零件。
真空等离子清洗机清洗工作流程示意图
以上就是深圳等离子清洗机厂家纳恩科技关于真空等离子清洗机清洗工作流程的简单介绍，真空等离子清洗机清洗工作流程简单来说就是在压力到达设定本底压力时,充入工艺气体,当腔内压力进出动态平衡时,利用等离子电源产生的中高频交变电磁场激发生成等离子体,对被清洗工件表面进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。
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