低温等离子清洗设备的主要部件组成及其结构示意图

典型的低温等离子清洗设备由五个部分组成分别有真空腔、电极组件、等离子体发生器、真空系统和控制系统。低温等离子清洗设备为一个独立的立式机柜结构形式,设备的所有部分除了处理气体外置均集成在机柜中。