等离子清洗的基本原理介绍

等离子清洗的基本原理即是等离子体通过其内部具有特定反应活性或高能量的粒子，如离子、电子、激发态的原子和分子以及自由基等等，去撞击待清洗材料表面，将附着在表面的污染物或微颗粒物剥离或与产品表面的有机物发生反应生成易挥发的气体，随真空泵排出，从而达到清洁材料表面的目的。