大气微波等离子清洗机优点

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2025-04-23

直流高压放电等离子体必然有电极,电极的引入使得其在产生等离子体的同时不可避免的损伤电极或者使得电极中的材料对等离子体作用样本产生污染,再加之这类等离子体具有很高的电压,因此被限制了适用范围。射频等离子体源中的许多结构可以避免电极污染,但是其产生等离子体的电离度和等离子体密度依旧是偏低的,且低频下所需的电场很高,对人而言依旧存在不安全性。将电源频率进一步提高,人们很自然地想到了微波等离子体源。微波是指频率从300MHz到3000GHz的电磁波,根据中华人民共和国及国际无线电有关组织的规定,民用的微波能应用主要集中在915MHz及2.45GHz附近的两个频段上。

微波激发等离子体是一种新的等离子体激发方法,工作气体被微波中不断高速变化的电场电离为等离子体形态。在标准大气下通过微波能作为激发源激发产生的等离子体被称为大气微波等离子体,通常根据产生等离子体电子温度的差异,将大气微波等离子体分为热等离子体和冷等离子体。大气微波等离子体清洗机是产生低温大气等离子体射流的装置，结构相对简单且操作容易;并且能够产生低温大气等离子体射流于开放的空气环境中,不需要真空系统,减少了设备的投入,降低了制作与维修成本。

大气微波等离子清洗机优点

低温大气微波等离子清洗机具有传统的微波等离子体优点及电感耦合等离子体的优点,同时也克服了两者的一些缺陷。因而,低温大气微波等离子清洗机具有如下特点:

1、由于微波放电与直流、交流以及射频放电相比,具有更高的电子温度和更低的工作压强,因而可以提供更高的电离度及离解度。

2、低温大气微波等离子体没有高压鞘层以及离子壁溅射,放电时没有内部电极,炬焰也不会与炬管进行接触,且炬焰根部温度比较低,因此不会对电极造成腐蚀,降低了电极材料对微波放电产生等离子体的污染。

3、低温大气微波等离子体清洗机具有较强的激发能力,在开放的大气环境中能够以氩气为工作气体产生稳定的等离子体射流。

4、由于低温大气微波等离子体清洗机能够在大气环境中产生等离子体射流,且空气中具有N2和O2等物质的存在,因而,其具有复杂的发射背景。

5、低温大气微波等离子体清洗机可以稳定产生等离子体的气体压强范围比直流或射频放电更宽。