5L小型真空等离子清洗机

产品型号：NE-PE05
性能特点：体积小巧操作简单
产品用途：科研实验，材料表面活化改性

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产品介绍
产品参数

小型等离子清洗机可应用于多种材料，包括金属、陶瓷、复合材料、塑料、聚合物和生物材料表面处理。包括材料表面清洁、表面活化、表面能改变、用于粘合和粘附的表面制备、表面化学改性，以及通过活化对聚合物和生物材料进行表面处理、接枝和表面涂层。

小型等离子清洗机原理：

小型等离子清洗机的清洗原理是在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去,从而达到表面清洁活化的目的。

小型等离子清洗机产品特点：

　●产品体积小，精度高，实用，操作简单，容易维护。
　●宽泛的参数调节范围，可以使用多种工艺气体，实现最大范围的参数选择。
　●采用优化的集成PLC工艺控制系统，特别适合研发和小批量生产领域的需求。
　●内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
　●专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
　●采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
　●中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行
　●清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
　●清洗功率0-100%无极可调
　●316不锈钢腔体，低温，不损伤样品，腔体内温度小于60°

小型等离子清洗机产品应用：

　●引线键合和封装前的集成电路芯片清洗。
　●用于去除碳氢化合物污染物的 TEM 和 SEM 样品清洗。
　●等离子处理亲水或疏水表面润湿性。
　●表面处理以提高环氧树脂/胶水的粘合强度。
　●用于光学、激光和通信的玻璃和光纤头清洁。
　●提高 MEMS 微流体器件的润湿性。
　●图案化后的光刻胶灰化和除渣。

序号	项目	型号规格	参数
1	等离子发生器	功率	0-300W可调
		抗辐射干扰高频匹配器	自动阻抗匹配，远程通信控制
		频率	40KHz/13.56MHz
2	真空反应腔室	腔体材质	进口 316 不锈钢，军工级密封
		腔体容积	5L
		电极数量	1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢托盘
		腔体直径（圆形）	150（W）×280（D）mm
		有效处理范围	130（W）*245(D)mm
		绝缘陶瓷	进口高频陶瓷
3	气路控制	气体流量控制器	浮子针阀流量控制器， 0-500ML
3	气路控制	气路数量	2 路气体通道，支持氧气氩气等
4	整机参数	整机功率	1000W
4	整机参数	外形尺寸	长宽高： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)

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5L小型真空等离子清洗机

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小型等离子清洗机产品应用：

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