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2L小型真空等离子清洗机

  • 产品型号:NE-PE02
  • 性能特点:清洗效果好,清洗效率高
  • 产品用途:清洁、灰化、刻蚀
  • 产品介绍
  • 产品参数

小型真空等离子清洗机具有清洁、灰化、刻蚀等功能,可用来清洁纳米级样品,去除光刻胶,清洁晶圆和集成电路键合焊盘,进行煤和有机物的灰化,激活聚合物、金属和陶瓷表面官能团,获得表面亲水性,提高键合强度和可印刷性,促进医疗器械生物相容性。
 

小型真空等离子清洗机产品优势:
 

 ●小型等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。

 ●直观的触摸屏用户界面,可储存多条用户程序,全自动运行

 ●8K 镜面不锈钢腔体,卓越密封性

 ●可支持 13.56 MHz 射频发生器,自动阻抗匹配调谐

 ●支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体

 ●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。

 ●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。

 ●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。

 ●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。

 ●由于功耗低且无需特殊处理气体,该装置是提高表面润湿性和附着力的非常经济高效的解决方案。
 

小型真空等离子清洗机用途:
 

 ●高分子材料表面改性粘合性、亲水性能提高。

 ●晶圆光刻胶灰化、剥离和除渣。硅晶片的有机污染物去除

 ●用于 PDMS 键合、载玻片、芯片实验室和其他微流体应用的等离子处理

 ●材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。

 ●材料表面有机污染物去除。

 ●清洁TEM和SEM样品,去除烃污染

 ●增强环氧树脂/胶水粘合强度

 ●用于清洁光学、激光、通讯用玻璃和光纤头

 ●改善MEMS微流体器件的润湿性

 ●隐形眼镜、医用植入物等类型医疗器械的表面处理和激活

序号 项目 型号规格 参数
1 等离子发生器 功率 0-300W可调
抗辐射干扰高频匹配器 自动阻抗匹配,远程通信控制
频率 40KHz/13.56MHz
2 真空反应腔室 腔体材质 进口 316 不锈钢,军工级密封
腔体容积 2L
电极数量
1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢
托盘
腔体直径(圆形) 100(W)×270(D)mm
有效处理范围 80(W)*235(D)mm
绝缘陶瓷 进口高频陶瓷
3 气路控制 气体流量控制器 浮子针阀流量控制器, 0-500ML
气路数量 2 路气体通道,支持氧气氩气等
4 整机参数 整机功率 1000W
外形尺寸
长*宽*高 : 600mm(L)×450mm(W)
×450 mm(H)

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