| 仪器主机尺寸: | 长 610mm×宽 420mm×高 220mm（注：含腔体总高 490mm） |
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工作腔室尺寸： |
标配：玻璃腔体（高度可选）：直径 260mm×高 200mm（外尺寸） 直径 240mm×高 200mm（内尺寸） |
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选配：金属腔体：直径 260mm×高 270mm（外尺寸 ） 直径 210mm×高 270mm（内尺寸） |
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靶头： |
标配：单靶 |
| 选配：双靶（双靶仪器主机尺寸和工作腔体尺寸会随之增大） | |
| 靶材尺寸： | 直径 50mm×厚 3mm（因靶材材质不同厚度有所不同） |
| 靶材料： | 标配一块直径 50mm×3mm 的铜靶（可选配多种靶材） |
| 靶枪冷却方式： | 水冷 |
| 真空系统： | 抗冲击涡轮分子泵，抽速为 300L/s |
| 前级机械泵： | 抽速为 4L/s，带防返油电磁阀及油污过滤器 |
| 真空测量： | 采用复合真空计监测真空 |
| 极限真空度: | 5×10-5Pa（10 分钟可到 9×10-4Pa） |
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电源： |
标配：直流恒流电源：输入电压：220V |
| 输出电压：0-600v | |
| 输出电流：0-1.6A | |
| 选配：射频功率电源：功率 1000W，配射频匹配器。 | |
| 载样台： | 直径 200mm，可根据客户需求定制载样台。 |
| 工作气体： | Ar 等惰性气体（需自备气瓶及减压阀） |
| 气路： | 溅射真空度手动调整（可选配气体质量流量计） |
| 水冷： | 自循环冷却水机 |
| 电源电压： | 220V 50Hz |
| 启动功率 | 3KW |
| 保修 | 贰年 |
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133-8039-4543