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80L真空等离子清洗机

  • 产品型号:NE-PE80F
  • 性能特点:所有元器件及核心部件采用进口配置
  • 产品用途:材料表面清洗活化刻蚀去胶
  • 产品介绍
  • 产品参数
工业真空等离子清洗机由真空室、真空泵组、电源、供气装置及控制部分(包括真空控制、电源控制、温度控制、气体流量控制等)组成。等离子清洗机的清洗原理是射频电源在一定的压力情况下,起辉发射高能量的无序等离子体,这些等离子体中有大量激发态分子、自由基等多种活性粒子,他们撞击到被清洗基体表面,破环了材料表面原有的化学键,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,这样不仅可以清除物品表面的污物和杂质,还可以提高表面活性。

工业真空等离子清洗机产品特点:


所有元器件及核心部件采用进口配置,保证了整机的稳定性和使用寿命。
真空泵采用进口旋片泵,是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系,在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验,使泵的寿命大大提高,并有效降低了泵 的维护成本,泵的各项保护措施完善,提高了长时间工作极限,泵油为耐高温、抗氧化油,泵具有可自行缓解温度过高的 散热体系,无需水冷。泵体内置于机柜内部,使机器紧凑,占地面积小。
控制方式:自动控制系统采用PLC加触摸屏控制,所有工艺参数、工艺过程实时监控,并显示运行状态、报警记录和工艺 曲线记录、工作时间记录,适合维护,可以提供工艺参考。
电源功率、洁净压力、射频功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。 
可存储100组工艺配方,随意调用。 工艺参数受密码保护,分级密码管理查询。
电极采用高通量等离子结构,牢固可靠易拆卸。
反应仓为矩形不锈钢腔体,水平电极板放置,间距可调。
真空泵采用双腔式旋片泵,及限真空度可达2Pa以下,一般采用外置。
一键完成全自动工艺,实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。
自动提醒系统堆护、更换真空泵油等,避免机器过载、过老化情形下工作,延长使用寿命。
气体质量流量计用的是直联式油旋片真空泵,由模拟量输入输出,量程为0-2000m可在量程范围内无级调节、针闽等 控制工艺气体流量。 
根据特殊的工艺要求可使用干泵,尾气处理设备,油过滤器,过德返油装置等。
电极结构(专利)的高等离子通量设计 能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。

工业真空等离子清洗机常见应用:


1、将PDMS腔室和玻璃基底同时放入等离子清洗机中改性,结束后快速将两者键合。
2、电路封装过程中焊接产生的助焊剂等残留物以及导电胶粘接胶液挥发积聚的薄膜有机物质严重影响键合界面的清洁,不加以处理而直接键合,将造成虚焊、脱焊等问题。等离子清洗是常用的清洗方式。
3、等离子体清洗Ti/Mo衬底表面,以去除衬底表面的自然氧化层。
4、利用等离子除胶可以达到常规清洗无法达到的效果,可应用在PCB制造过程中。
5、ITO表面进行等离子清洗可以除去表面有机杂质,更重要的是清洗后不仅可以优化ITO的功函数和导电率,还能够增加其与修饰层界面接触,从而有利于电荷的传输。
 

型号 真空等离子清洗机NE-PE80F
等离子体发生器频率 13.56MHz
射频电源功率 (0~600)W 可调
工作真空度 30~150Pa
反应仓工作温度 30~60℃
气体流量 (0~200)ml/min
控制方式 采用触摸屏人机界面的PLC控制
腔体材质 不锈钢/铝合金
输入电压 380×(1±10%)V(AC) 50Hz~60Hz 三相五线
气体通道 标准两路,可增加,可通入氧气氩气氮气等
设备功率 ≤4kW
外形尺寸 L1200×W1100×H1850(mm)
反应仓尺寸 W450mm×H400mm×D470mm
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