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关于真空等离子清洗机电极的一些说明

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-05-05
真空等离子清洗机一般是在在容性耦合等离子装置下产生等离子体,电容耦合大多采用内置的平板电极模式,放电时在两极板上加射频电源,在两极板间气体激发产生等离子体。电子密度与极板间距成正比例关系,平均电子温度与极板间距成反比关系,其均匀性与极板间距成正比关系即随着间距的增大均匀性变好。

电极板在等离子清洗中的作用


打开反应仓,安装有若干电极板(亦有样品托盘的作用)。在反应仓的后部安装有两个铜电极,其中左边为负极,右边为正极。每个电极条上有输出端与仓体侧壁的铝支撑对应。电极板能够充当反应电极是建立在其上面的插头与对应铜电极相连接实现的,电极条选择插入左边或者右边能够决定该电极架为正极或者为负极。采用正、负电极相间隔放置的模式称为直接等离子体模式,这种模式的配置下所有的正负离子都会在两极流通而过且不会被彼此隔离,属于较强轰击性的方式。待清洗的物体可放在正极上也可放在负极上,通过实验也可以发现当待清洗的物体放在正极上时为较为强烈的清洗(去胶)方式。

电极对等离子清洗效果影响


电极的设计对等离子清洗效果有着显著的影响,主要包括电极的材料、布局和尺寸等因素。对于内电极等离子清洗系统,由于电极暴露在等离子体中,某些材料的电极会被一些等离子体刻蚀或发生溅射现象,造成不必要的污染并导致电极尺寸的变动,进而影响等离子清洗系统的稳定性。电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有较大影响,较小的电极间距能够将等离子体限制在狭小的区域从而获得较高密度的等离子体,实现较快速度的清洗。随着间距的增加清洗速度逐渐下降但均匀性逐渐增强,电极的尺寸通常决定了等离子系统的整体容量,在电极平行分布的等离子清洗系统中,电极通常作为托盘使用,较大尺寸的电极能够一次清洗更多的元器件,提高设备的运行效率。

等离子清洗机电极的设计


由上述分析可知,电极本身应尽可能不受等离子体的影响,且间距可调以适应不同应用对等离子体特性的需求,此外,应该在满足应用条件的基础上使托盘电极面积最大化。电极板主体由不锈钢材料制成,通过电极接头可选择的与电源正极或负极连通,电极板由两侧的绝缘块固定在真空腔体中,整个电极系统可跟据不同需求选择电极板的极性与间距,以获得最合适的等离子体。同时可以通过增加真空腔体的长宽高来增加托盘的数量和尺寸,提高清洗系统的效率。

等离子清洗机电极的类型一般有水平电极和垂直电极两种分布形式,不同的分布形式,适用不同的材料进行清洗。

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