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如何判断常压等离子清洗效能已经衰减?

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-07-27
常压plasma等离子清洗机在经过长时间使用后,有可能因为电子元件、电极及材料老化导致等离子效能减弱,因此常会有客户询问要如何知道plasma已经出了问题?在此笔者分享几种方式供读者参考:

(1) 光谱量测:如前所述,以光谱仪量测等离子所发出之光谱,等离子光谱能直接量测出等离子中活性成份,是最直接有效的做法,但等离子光谱价格昂贵,只有少数使用者会考虑使用。

(2) 朗缪耳探针(Langmuirprobe):朗缪耳探针可用来测试等离子中电子密度,电子能量等;常用于研究单位,早期多应用在真空等离子体密度量测,最近也有应用于大气等离子体的朗缪耳探针上市。跟光谱仪一样价格昂贵,知道及使用者不多。

(3) 水滴接触角测试:以水滴接触角量测仪量测经过等离子处理后的试片,藉由标准试片测试来判断电等离子效能是否正常,此方法是最常用的方法,但需注意标准试片表面特性是否一致,否则容易误判。

(4) 达因笔测试:以达因笔测试被处理试片表面,当试剂摊平时表示被处理物表面能比试剂大,反之则相反。此方法跟水滴接触相似,也是使用最多的方法之一,此方法可以直接量测被处理物表面能;若要量测等离子效能是否衰减,一样要以标准试片来测试较具参考价值,但需注意标准试片表面特性是否一致及达因笔保存方式是否正确。

(5) 光阻蚀刻率量测:以特定厚度的光阻进行等离子蚀刻率量测,也可以测出等离子效能是否衰减,此方法概念相当好,但由于大气电浆并不是整面均匀,光阻蚀刻后如何从不同的图案去判断蚀刻率快与慢可能需要事前做好研究。另外,当喷头开口电性或孔径发生变化时也会影响蚀刻出来的图案,因此最好能更换喷头再测试,交叉比对测试结果。

(6) 由常压等离子清洗机输出功率、电压及电流来判断:等离子可以看成是一种电子元件,当元件老化时,功率、电压及电流的关係也会发生变化,利用监控该特性值的改变也可用来判断电浆状态是否改变,此方法常被用来判断电浆是否失效;由于大气等离子清洗机电压、电流及功率值浮动较大,要用来判断大气等离子效能是否衰减恐不够灵敏。

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技关于如何知道常压等离子清洗效能已经衰减的简单介绍,等离子清洗效能的衰退会影响最终产品的处理效果造成影响,对于后续的工艺也会产生不良效果。因此如果发现等离子清洗效果不好,可以从以上几个方面做出判断。



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