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等离子清洗机工艺气体流量(压力)设置说明

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-12-05
等离子清洗采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机除了具有超清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,等离子体作用于材料表面,使表面分子的化学键发生重组,形成新的表面特性。一般等离子清洗机可以通过调节气体流量、处理时间、RF功率来控制处理效果。今天我们主要谈下气体流量(压力)对等离子清洗效果的影响,来帮助大家理解该如何设置等离子清洗工艺气体流量。
等离子清洗机
NAEN-PLASMA

 
首先我们来了解一下等离子清洗机的的仓体压力这个概念

仓体压力反应仓内的压力是工艺气体流量、腔体泄露率和真空泵抽速的动态平衡。

接下来我们一起了解下等离子清洗压力的变化主要影响哪些方面?

物理等离子清洗工艺模式采用的仓体压力较小。物理等离子清洗工艺要求被激发的离子轰击工件表面。假如仓体压力过高,激发的离子在到达工件清洗表面之前就和其他离子产生多次碰撞,减低清洁效果。已激发的离子在碰撞之前所行进的距离称为离子的平均自由路程,与仓体压力成反比。物理等离子清洗工艺要求低压以便于平均自由路程最大化,使碰撞轰击达到最大。但假如仓体压力下降太多,就没有足够的活性离子在有效的时间内来清洁工件。化学等离子清洗工艺产生的等离子体与工件表面产生化学反应,所以离子数越多越能增加清洗的能力,导致需要使用较高的仓体压力。

通过对舱体压力的了解,接下来就可以更直观的了解工艺气体流量对于等离子清洗效果的影响。

工艺气体流量
流量的大小直接导致了形成离子体量的多少,形成了离子体越多,作用于工件表面的反应越强烈,进而清洗效果也可能会越好,但需与射频功率协调作用。工艺气体流量同时也是影响舱体压力的一个重要因素,气体流量加大后,腔室的真空度降低。流量越大意味着离子越多,但是同时碰撞也会更多,清洗效果反而也可能会更差。

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技关于等离子清洗机气体流量的一些说明,希望通过以上讲解能够让大家对于等离子清洗气体流量该如何设置有一定的帮助。综上所述:等离子清洗流量的选择要根据清洗的基片进行合理选用,当以物理作用为主时应减小气体流量以增大离子能量,当以化学作用为主时要增大一些气体流量,保证反应气体浓度。

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