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等离子清洗机的操作流程(步骤)及操作注意事项

文章出处:等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-06-27
本文主要介绍等离子清洗机的操作流程及操作注意事项,方便大家在使用过程中,合理正确的使用设备,避免一些错误操作。

等离子清洗机也被称为等离子表面处理仪,是一种比较新颖的技术,它利用等离子体来清洁,可以达到常规清洗无法企及的水平。与激光清洗的直射光线不同,等离子体的方向性不强,这使得它可以深入表面的细微孔洞和凹陷的内部。高精度的时间和功率控制,不会使基片表面产生损伤,表面质量得到保证。具有去除能力极强,非接触式清洗,操作简便,无二次污染的强大优势。

它的工作原理是在真空条件下对充入的气体等离子化,利用产生的高速运动的离子、电子、自由基和活性基团等活性成分处理材料表面,实现清洁效果,同时能够提高材料表面润湿特性,改善表面黏着力,改善材料的表面特性。


等离子清洗机操作流程如下:


(1)接通电源,打开开关,按照说明书要求进行操作。首先检查等离子清洗机连接的氮气瓶和氧气瓶连接正常且气体充足,拧开氮气源主阀,使减压阀的压力调节在0.4bar左右,打开气源开关;
(2)把需要清洁的材料放在搁板上,如果材料尺寸太小可以先放进托盘再放搁板上,关好舱门。
(3)在控制面板上按“ENTER”键进入调节,选择需要的进气口、功率和时间。
(4)选好后按“Start”开始。在近真空舱室中,射频电源在高压下使气体起辉,产生高能等离子体,轰击材料表面,达到清洁效果。5%氩气+95%氮气组合发出粉红色辉光。
(5)结束后等待外部气体充满舱室后方可打开舱门。如果气体没有充满舱室,不要强行开门。打开腔室,取出清洗好的样品;再次放置样品清洗。为了使每个样品得到充分清洗,一次放置样品数量不宜过多。
(6)待所有样品被清洗完成,关闭所有气源开关及主阀,将等离子清洗机舱门关闭。


等离子清洗机的操作注意事项如下:


注意事项:侵蚀性溶液、气体或挥发性物质可能会污染或破坏机器,酒精、盐酸、碘等需要谨慎处理,不能直接裸露放置在清洁舱内;机器不防潮,注意不要把溶液洒在上面;如果关闭了全部两枚气阀,当工作舱内和管道内残余气体耗尽时,就会停止工作,此时舱内近似真空,舱门无法打开使需要重启进气,不能强行开门;当指针上浮到顶端,示数并不代表当时舱内气压,可能是气阀开得过大,气压已经大于要设定的量,此时应该略微关小气阀,让浮动指针下降一些;高压真空危险,工作时舱内还可能产生高温,肢体勿要直接接触搁板;若废气有害,清洁完毕还要先接通管道通向处理池。

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技,关于等离子清洗机的操作流程及注意事项的简单介绍,等离子清洗机在分子级对样品进行清洗,主要利用被电离的等离子体在真空环境中冲洗,同时有机污染物被真空泵直接抽走,防止二次污染。

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