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真空等离子清洗机真空度影响决定什么

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2023-02-22
真空等离子清洗机的工作流程:在压力到达设定本底压力时,充入工艺气体,当腔内压力进出动态平衡时,利用等离子电源产生的中高频交变电磁场激发生成等离子体,对被清洗工件表面进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。
真空等离子清洗机

真空等离子清洗机真空度是指什么


真空度指的是真空等离子清洗设备工艺腔室的腔内压力,清洗腔内的真空度是工艺气体流量、腔体泄露率和真空泵抽速的动态平衡。在高频电场中真空状态下的气体物质通过辉光放电,转变成等离子体状态。被清洗器件被等离子体完全笼罩,开始清洗作业。

真空等离子清洗机真空度影响决定什么


真空等离子清洗机处理效果与真空度密切相关,只有在特定的真空度及等离子气体氛围内,才能得到最佳的改性效果。真空度对材料表面处理效果影响较大,当真空度较小时,高速电子数目的增多使得各粒子的平均自由动程降低,自由电子碰撞获得的能量不足以提供足够被电离的活性粒子,活性基团数目少。当真空度较高时,高速电子数目减少,电子自由动程大,碰撞机会减少使得真正被电离的活性粒子数目少,活性基团数目少。

物理等离子清洗工艺模式采用的仓体真空度较小。物理等离子清洗工艺要求被激发的离子轰击工件表面。假如仓体真空度过高,激发的离子在到达工件清洗表面之前就和其他离子产生多次碰撞,减低清洁效果。已激发的离子在碰撞之前所行进的距离称为离子的平均自由路程,与仓体真空度成反比。物理等离子清洗工艺要求低压以便于平均自由路程最大化,使碰撞轰击达到最大。但假如仓体真空度下降太多,就没有足够的活性离子在有效的时间内来清洁工件。化学等离子清洗工艺产生的等离子体与工件表面产生化学反应,所以离子数越多越能增加清洗的能力,导致需要使用较高的仓体真空度。

本文由深圳等离子清洗机厂家纳恩科技整理编辑!!!真空等离子清洗机真空度的控制也是一个重要的环节,在气体流量和功率一定情况下,要提高真空度,必须更换大抽速的泵。真空等离子清洗设备真空度控制方式通常有恒流&恒压式(工艺气体流量恒定,通过蝶阀角度控制或泵组频率调整实现恒压)、恒流式(工艺气体流量恒定,真空压力只做上限控制)、混合式(通过调节工艺气体流量实现压力控制)三种。第一种最稳定,但设备结构复杂,成本高,一般只有半导体晶圆制造工序选用;第二种最常见,实际真空会随着泵组能力而变化,新泵的抽真空能力强,清洗效果较好;随着时间推移,泵的抽速下降,清洗效果变差;第三种运行稳定性不好,不仅压力不稳定,工艺气体流量也在变化,工艺稳定性难以保证。

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