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等离子清洗设备电源该如何选择?

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-07-28
等离子清洗是一种干法物理化学清洗技术。它是利用低真空状态下工艺气体 因电场的作用,产生辉光放电,将工艺气体电离成离子流,轰击工件表面,使其 产生物理化学反应,达到清洗目的。等离子清洗设备的电源又称为等离子发生器,是等离子清洗设备的核心原器件,也是产生等离子体的关键所在。
等离子清洗设备

等离子清洗设备电源的选择与其频率的选择是确保等离子质量和过程灵活性的两个最重要的参数。对于清洗中的应用,射频发生器的频率是标准,它确定能否很好的将气体激发为等离子态。13.56MHz,和40KHz是最常用的频率。

与射频等离子发生器相关联的还有匹配网络,如果阻抗负载不能精确调节,射频发生器将会被损坏,这是由于承受波的反馈的原因。匹配性的调节在获得好的清洗效果中是必要的。合适的匹配系统与高品质的射频发生器将会自动调节负载阻抗,甚至当清洗的条件与操作都发生变化的情况下也能做到。这保证了最佳的等离子体密度和可重复性。


等离子清洗机电源频率该如何选择?


等离子清洗设备按其等离子激发频率可分为:低频(40KHz)、高频(13.56MHz)和微波(2.45GHz)三种等离子清洗设备,随着频率的升高,离子浓度增大,离子能量下降。低频等离子清洗主要应用于污染较重,且不易受到损伤的元件(如外壳、成膜基板、焊片等),其中主要是离子的物理撞击作用(物理清洗),化学清洗作用其次。微波等离子清洗主要应用于敏感器件(半导体芯片,特别是微波器件),这时主要是离子化学反应。而高频等离子清洗的应用则介于上述两者之间。

等离子清洗设备电源除了频率选择之外,一般行业内配的电源主要有进口和国产之分,国外的进口电源一般会比国产要贵很多。如果对于设备配置要求不是很高,可以选择国产电源,支持国产,对于国产品牌的成长也会起到一定的帮助。

以上就是国产等离子清洗设备厂家纳恩科技关于等离子清洗设备电源如何选择的简单介绍,等离子清洗设备电源选择主要考虑两个方面,一个是频率,一个是价格,考虑性价比就选择国产,考虑质量和效果就选择进口。


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