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陶瓷电容基片等离子清洗提高后续镀膜工艺膜层附着力

文章出处:等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2026-05-04
陶瓷电容器是介质材料为陶瓷的电容器,根据陶瓷材料的不同,可以分为低频陶瓷电容器和高频陶瓷电容器两类;在陶瓷电容基片生产出来之后,通过磁控溅射真空镀膜设备对陶瓷电容基片的两侧进行金属镀膜;镀膜结束后,在陶瓷电容基片的两侧焊接金属引线,然后对陶瓷电容基片进行封装。

在对陶瓷电容基片进行镀膜之前,需要对陶瓷电容基片进行清洗,现有技术中的清洗方式为等离子清洗,通过等离子清洗方式清洗掉陶瓷电容基片表面的有机物和油脂,改善陶瓷电容基片的电化学性能;在通过等离子清洗设备对陶瓷电容基片进行清洗时,将陶瓷电容基片放置在真空室内,然后向真空室内通入氩气或氮气,通过对氩气或氮气进行电离,形成自由电子、离子、自由基等组成的等离子体,在电场作用下撞击陶瓷电容基片,达到对陶瓷电容基片清洗的目的。

等离子清洗提升膜层附着力原理

等离子清洗对膜层结合力的提升,本质上是通过改善陶瓷电容基片表面特性,优化膜层与基片的界面结合状态,主要体现在三个方面。首先,彻底清除界面杂质,消除隔离障碍。基片表面的氧化层、有机残留等杂质会破坏膜层与基片的界面相容性,等离子清洗可将这些杂质彻底去除,使膜层与基片直接接触,避免因杂质隔离导致的结合力不足,从根源上减少膜层脱落、剥离等缺陷。

其次,提升基片表面活性,增强界面化学键合。等离子清洗过程中,活性自由基激活基片表面分子,使表面形成羟基、羧基等活性官能团,这些官能团可与镀膜材料(如金属电极、介质膜)的分子发生化学反应,形成稳定的化学结合键,相较于传统物理附着,化学结合键的强度大幅提升,从而显著增强膜层结合力。同时,表面活性的提升还能改善镀膜材料在基片表面的润湿性,避免镀膜时出现缩边、针孔等缺陷,确保膜层均匀覆盖。

最后,优化基片表面微观形貌,强化物理吸附作用。等离子体的物理轰击的作用会在基片表面形成微小的凹凸结构,增大表面粗糙度与比表面积,使膜层与基片形成“锚定”效应,就像齿轮相互咬合一样,进一步提升膜层的物理吸附力,减少膜层因外力作用发生脱落的概率。

传统的基片清洗方式(如化学清洗、超声波清洗)存在诸多局限性:化学清洗使用有毒有害溶剂,易造成环境污染,且残留的化学物质会腐蚀基片表面,影响介电性能;超声波清洗难以清除基片微小孔隙及表面顽固杂质,且高频振动易导致基片边角破损,不适用于精密陶瓷基片的预处理。低温等离子清洗作为一种干式、无损伤、高效环保的表面处理技术,可通过物理轰击与化学转化的协同作用,实现基片表面的分子级清洁与活化,且仅作用于表面纳米级表层,不破坏基片基体结构与尺寸精度,已逐渐取代传统清洗方式,成为陶瓷电容基片镀膜前的核心预处理技术。
 

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