微波放电(MicrowaveDischarges)


微波放电是指用微波激发气体产生等离子体。当微波经波导传输作用于气体时,气体分子吸收微波能量电离,形成等离子体。根据国际通用的规则微波放电的频率为2.45GHz。微波放电与射频放电类似,不同之处在于能量的传输方式不同。微波电源产生微波,通过波导管或天线耦合至反应室内,反应室内的介质气体分子或原子吸收能量,部分气体电离,产生初始电子,初始电子受微波场作用加速运动,运动过程中与气体分子发生非弹性碰撞并再次电离,电子数量逐渐增加,增大了碰撞的机率,加速了气体的电离过程,如果装置结构设计合理并且微波功率调整合理,就可以维持击穿放电,最终产生稳定的等离子体。与电感耦合式射频等离子相同,微波等离子放电电极也可设计在容器的外面,因此可得到高密度、无二次污染的等离子体。微波电子回旋共振是一种典型的微波放电装置,其结构见图1-1。
 微波等离子体发生装置示意图
图1-1 ECR 微波等离子体放电装置

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