等离子体射流放电


等离子体射流放电的装置结构如图1-1所示。当交流高压电源以几kHz,数kV输出时,在棒状电极末端,距离金属喷嘴最近的地方易形成极高电场,出现尖端放电;工作气体在这个区域被交流高压电源充分电离,产生等离子体;并随着工作气体的不断涌入,等离子体被吹出喷嘴,形成一段距离有限且发光的等离子体射流,伴随嘶嘶声。
等离子体射流放电
图1-1 等离子体射流放电
为了防止在筒状外壳内部出现电弧放电,等离子体射流放电的气体压力一般控制在一个标准大气压以上,使等离子体被迅速吹出,不足以积累成电弧;同时气体压力也不能过高,否则电离的等离子体无法形成等离子体射流。

等离子体射流放电实现放电空间与使用空间的隔绝,即在腔体内部放电电离,而在腔体外部形成射流用于处理材料。这种结构保证安全性,也极大方便了实际使用,通过改变喷嘴的结构,可以形成阵列等离子体射流、旋转等离子体射流等形式。

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