电子回旋共振等离子体ECR-深圳纳恩科技有限公司

等离子简介
等离子体产生方式
等离子清洗原理
等离子体清洗技术分类
- 真空等离子清洗机
- 大气等离子清洗机
真空VS大气等离子对比
等离子体工艺应用
知识库

电子回旋共振等离子体

电子回旋共振(electroncyclotronresonance,ECR)等离子体源是一种基于电子回旋运动原理的高密度等离子体产生装置,主要由磁场系统,微波源,低气压放电腔体组成(见图1)。微波源产生的高频电磁场通过微波传输器件(通常为波导或传输线)馈入低气压放电腔体,激发电离工作气体产生等离子体,在外部磁场(磁感应强度通常为875Gs,对应2.45GHz频率)作用下,自由电子将在洛伦兹力的作用下环绕磁力线做回旋运动。当微波电场的频率与电子的回旋运动频率相等时,电子将能够通过回旋共振持续吸收微波能量,从而可以实现在较低气压下产生并维持高密度低温等离子体。ECR等离子体源相比射频等离子体源具有高电子数密度(约1018m⁻³)、低离子温度和无电极污染等优势,广泛应用于半导体制备工艺过程中的薄膜沉积和表面改性。