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等离子鞘层
等离子鞘层是
等离子体
的重要特征,表征了等离子的电位分布和静电场效应。以电容耦合式等离子为例,带电粒子(电子、离子)在电场作用下向基板运动,由于电子质量轻、移动速度快,一部分电子到达基板后,与正离子结合成气体分子,剩下的部分在基板附近形成了负电荷区,负电荷区吸引正离子,排斥电子,当正离子和电子移动的速度相同后,在基板附近就形成了一定区域的负电位,称之为“等离子鞘层”。
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