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DBD(介质阻挡放电)
DBD介质阻挡放电分为体介质阻挡放电 (volume DBD , VDBD) 和表面介质阻挡放电 (surface DBD , SDBD) 。 VDBD 就是通常所说的同轴介质阻挡放电和平行板介质阻挡放电,其主要特点是依靠绝缘介质在放电空间形成反向电场对外部电场进行抵消,限制放电电流,防止电弧或火花放电的发生。目前,在研究应用中使用较多的主要是平行板型电极结构,两个平板电极平行排列,电极之间相隔一段间隙,为了防止电极之间出现电弧,在电极上覆盖合适的电介质如陶瓷、玻璃等,在两个平板电极之间施加较高的交流电压,电极之间的气体会被击穿,产生放电现象。其常用结构为三种,如图1.1所示。图1.1(a)采用一块绝缘介质,并将其覆盖在其中一个电极表面。图1.1(b)将绝缘介质放置在平行电极之间,形成两个被隔离的放电气隙,调节绝缘介质位置可以改变放电气隙的大小,使两个气隙产生不同浓度的
等离子体
。图1.1(c)采用两块绝缘介质并将其分别覆盖在上下电极表面,两绝缘介质之间为放电气隙。DBD可以产生大量的等离子体,同时获得许多化学活性物质,在材料表面改性处理、薄膜材料制备、污水处理等工业应用中具有广泛应用。
介质阻挡放电的电极结构图
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