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专业维修真空泵,提供爱德华,莱宝,爱发科,干泵,油泵,螺杆泵,罗兹泵维修服务

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-10-06
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 专业真空泵维修
随着经济快速增长,半导体工业也随之不断发展,真空设备在半导体行业中的应用也更加广泛,如干法类设备、真空镀膜类设备、材料生长类设备和掺杂类设备,等等。这些真空设备中用来获取真空的泵组,也成为影响设备性能的核心组件之一。为保障设备正常运行,对真空泵组的常见故障进行分析和处理也变得越加重要。

常见真空泵的分类和性能指标

真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理,基本上分为气体传输泵和气体捕集泵。区别是对气体的处理方式不同,气体传输泵是以不停吸入和排出气体来达到抽气目的的真空泵,而气体捕集泵则是将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上来获取真空。气体传输泵又分为容积泵和动量传输泵,气体捕集泵分为吸附泵和低温泵。

半导体设备中常见的真空泵为油封式机械泵,干式真空泵,罗茨真空泵,分子真空泵,扩散泵和冷凝泵等。

常见真空泵故障分析及维修办法

旋片式油封式机械泵

对于中小型真空设备,旋片式油封式机械泵是最基本的真空获取设备之一,属于低真空泵,工作压力范围为101325~1×10-2Pa。它可单独使用,也可以作为其他高真空泵的前级泵使用。旋片式油封式机械泵可用于抽取干燥气体和一定量的可凝气体。

旋片式油封式机械泵的常见故障现象分类

真空性能较差
(1)泵体内油有问题,机械泵性能表现和油的质量及纯度有着非常密切的关系。泵在使用过程中,所抽设备里的杂质和水容易通过抽气进入真空泵油中,这种情况会严重影响机械泵的性能。因此,需要经常对真空泵油进行取样观察。如泵油有颗粒沉淀物、有水沉积、色彩较暗,则需要更换泵油并检查进气口过滤器滤芯是否有损坏。注意不同种类或牌号的真空泵油不可混合使用。
(2)真空系统泄漏,检查设备真空系统并检漏。
(3)泵内部元件损坏,拆开机械泵,检查泵体旋片磨损情况,观察泵体表面是否有划痕,如泵体内较脏或有粘糊状物质,则需清洗泵体和旋片后重新安装。根据经验,如泵体和旋片磨损较轻微,清洗后泵的真空度会有所下降,需测试是否可满足设备真空性能需求。如磨损严重,则需更换旋片或泵体,由于机械泵旋片和泵体之间间隙直接影响机械泵抽气性能,一般需配合加工。如只更换其中之一,往往难以修复,需配合研磨。

机械泵无法正常旋转
检查机械泵的电气连接,如是三相机械泵则确定其是否缺相,单相机械泵则检查其电容。如机械泵供电正常,则需从联轴器处将机械泵拆分为电机和泵体两个部分,断电后分别手试旋转电机轴和泵体联轴器,看是否有较大阻力,如电机无法旋转则需拆开检查其内部转子和轴承是否损坏;如泵体部分卡死则需拆下泵体内旋片部分进行检查,如有必要,可清洗泵体内部。

机械泵声音异常
(1)输入电压问题。检查输入电压是否异常,检查电源,开关,线路连接情况。
(2)泵内油位太低,检查油窗,补充真空泵油。
(3)弹性联轴器损坏。检查联轴器是否损坏,更换元件。

涡轮分子泵
在半导体真空设备中,涡轮分子泵同样也应用十分广泛。其是利用分子牵引(高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象)以高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合实现抽气。涡轮分子泵为高真空泵,需配合前级泵使用,将其泵出口的气体抽走,其使用真空范围为1×10-1~<1×10-5Pa。涡轮分子泵内部结构比较复杂,主要故障有叶片或泵体损坏,异常振动和噪声,真空度问题,泵过热,分子泵转速波动超标或停机等。其中叶片或泵体损坏一般较为严重,需返厂维修。

低温泵
低温泵是利用低温(低于100K即-173.15℃)表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空的装置。其抽速大(理论比抽速可达11.6L/(S×cm2),极限真空度高(1×10-13Pa),清洁无油且可以长期有效运行,在半导体真空设备中应用广泛。

低温泵运行过程中出现异常摩擦声
故障原因分析:驱动单元故障,氦气不纯导致推移活塞处凝结固态异物
低温泵温度异常,推移活塞有污染
故障原因分析:压缩机内油泄漏、充气时使用了被污染氦气、密封环磨损导致的粉尘污染

对常见真空泵的故障现象和维修手段进行总结,可有效节约维修时间,及时发现故障和处理,保证设备安全经济运行。如果你也有真空泵需要维修,可以直接联系我们,专业维修保养进口真空泵,爱德华、普旭、阿尔卡特、EBARA、莱宝等各大品牌真空泵,维修快速,价格实惠。

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