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等离子清洗机分类

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-05-07
等离子清洗机分类形式有很多种,不过等离子清洗机的主要原理都是利用清洗时高能电子碰撞反应气体分子,使之离解或电离,利用产生的多种粒子轰击被清洗表面或与清洗表面发生化学反应,从而有效地清除各种污染物。下面就让我们一起来简单了解下等离子清洗机的分类吧。

按照等离子体的产生环境分类


一般我们来说按照等离子体产生的环境可以分为真空等离子清洗机,和常压等离子清洗机两大类,这也是市面上比较常见的分法。真空等离子清洗机与常压等离子清洗机一般情况,气体放电产生等离子体,只能在很低的压强甚至是真空中产生并稳定存在,因此低压等离子体必须要具备抽真空的设备。真空等离子清洗机的优势有以下方面,所需要的击穿电压低;状态稳定;电子温度为中性温度;离子浓度和自由基浓度相对较髙,有效的与物体发生聚合或刻蚀反应;气体量增大的条件下也能产生稳定的辉光放电。但真空等离子清洗机存在着以下一些缺点:真空设备造价很贵,维护成本高。在生产过程中要频繁的进行抽真空,而且腔室受限制,不能进行在线连续处理,这些都为等离子体技术在更多的领域及相关产业应用带来限制。常压等离子清洗机弥补了真空等离子清洗机的不足。无需真空操作,可以很方便的整合到已有的产线上对材料进行在线处理。

在线式等离子清洗机与离线式等离子清洗机


按照是否在线又可以分为批量离线式等离子清洗机,和在线式等离子清洗机。随着等离子清洗技术的大量运用,不同行业对等离子清洗机的需求程度不一样,促使以前离线式的真空等离子清洗机不在能满足企业的生产需求,因此在线式真空等离子清洗机便应用而生。

批量式等离子清洗机的主要结构包括:反应仓、壳体、控制系统、气路系统、电源以及真空系统等。在线式等离子清洗机的主要结构包括:上下料推料机构、上下料置取料平台、上下料提升系统、上下料传输系统、上下料拨料机构、反应仓、设备主体框架和电气控制系统等。在线式等离子清洗机是在批量式等离子清洗机的基础上为了尽量减少生产工艺中的人工参与而设计的一种设备,主要针对集成电路IC封装工艺中引线键合前进行引线框架芯片、基板的等离子清洗,彻底去除其表面的氧化物、微颗粒污染物,达到改善材料表面性质,提高引线键合强度,降低焊不上、虚焊的可能性。

除了真空等离子清洗机有在线和离线之分,常压等离子清洗机也有在线离线的说法,其实都只是在等离子清洗机的基础上增加了自动化的功能。


按照等离子体的激发频率分类


等离子清洗机根据等离子体激发频率的不同又可以分为,中频等离子清洗机,射频等离子清洗机,微波等离子清洗机。常见的产生等离子的方式分为三种:(1)中频等离子体;(2)射频等离子体;(3)微波等离子体。这是根据产生等离子体的发生频率来分,中频等离子体为40kHz,射频等离子体为13.56MHz,微波等离子体为2.45GHz。这其中中频等离子体和射频等离子体为电场产生等离子的方式,微波等离子体为磁场产生等离子体的方式。激发频率40kHz的等离子体为超声等离子,发生的反应为物理反应,清洗系统离子密度较低;13.56MHz的等离子体为射频等离子体,等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应,离子密度和能量较高;2.45GHz的等离子体为微波等离子体,离子浓度最高,反应为化学反应。

另外还有一些其他的等离子清洗机分类,例如常压等离子清洗机,又可以分为直喷等离子清洗机,旋喷等离子清洗机,还有宽幅等离子清洗机。真空等离子清洗机又可以分为,真空卷对卷等离子清洗机,真空滚筒等离子清洗机等,这都是按照等离子清洗机的不同应用来进行分类的,还可以按照腔体的材质不同分为,不锈钢腔体等离子清洗机,铝腔体等离子清洗机,石英玻璃等离子清洗机等等。


其他分类方法


等离子清洗机之所以有这么多分类,是等离子清洗机厂家针对不同的用户需求,设计制造了许多种不同结构类型、不同电源频率的等离子清洗机。各有所长,也就各有所短。选用等离子清洗设备前要搞清楚待清洗工件特征,要清除掉的沾污物是什么,待清洗工件在清洗过程中应避免什么,是高温、晶格损伤、静电损伤还是二次污染等,通过试验结果确认、选购满足不同工件对等离子清洗不同要求的设备。
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